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2023年8月3日晚間，微導納米(688147.SH)披露調(diào)研紀要顯示，公司半導體ALD設備的應用場景均代表國內(nèi)半導體各細分領域的工藝多元化發(fā)展方向，在邏輯芯片、存儲芯片、新型顯示芯片、化合物半導體領域均有設備訂單，并逐步推動在客戶端驗證或驗收。

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